一文看懂MOCVD 半导体行业观察

什么是MOCVD?

除此之外,人们还发现在AR、VR、汽车智能辅助驾驶跟人工智能等应用场景下,VCSEL也有极其优越的表现。其中,存在更高功率恳求的激光雷达等汽车应用,需要应用更大的VCSEL阵列。

从前,VCSEL主要作为一种低成本运动跟踪跟数据传输的光源技巧用于打算机鼠标、激光打印机和光纤通信。1996年,VCSEL首次被运用了到光通讯中,尤其在短距离光通信范围,850 nm VCSEL成为了空想的光源之一。而后,3D人脸辨认浮现,为940 nm VCSEL的发展供应了契机。至此,由以光通信为主的850 nm缓缓转向以利用于破费级设备为主的940 nm。

MOCVD是VCSEL的关键

可见,MOCVD技术对VCSEL发展的重要性。那么,MOCVD是什么?

据麦姆斯咨询报道,美国专利商标局(USPTO)本周二授予了苹果公司(Apple)一项有关压力传感器的专利,未来苹果可能应用Face ID的VCSEL(垂直腔面发射激光器)技术,改进将来iPhone的3D Touch功能。

两年前,苹果手机曾发布3D人脸识别功效,将VCSEL技术带入了民众视线。这是继2017年后,第二次苹果将VCSEL技术推向台前。

Veeco产品营销总监Mark McKee认为:“发展VCSEL技术,须要洽购更多的金属有机化学气相沉积(MOCVD)体系,以保障制作产能加速跟上激光雷达系统的需要。当初的问题是如何实现最高的性能和最高的产率以满足市场需要。而这需要基于业界当先的MOCVD技术。”

然而,VCSEL的制造工艺非常复杂,尤其依靠于MOCVD(金属有机物气相沉积)工艺。

MOCVD是1968年由美国洛克威公司的manasevit等人提出制备化台物单晶薄膜的一项新技术,到80年代初得以实用化。从定义上来看,MOCVD是在气相外延成长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延成长技能。